Взаимодействие золота с полупроводниковыми
материалами
Проведен анализ и обобщены экспериментальные
данные по взаимодействию золота с элементарными полупроводниками
(золото-германий, золото-кремний, золото-селен), а также с
полупроводниковыми соединениями
AIIIBv
и AIIBVI.
Приведены сведения о диффузии, электропроводности,
фотопроводимости, явлениях смачивания. Рассмотрены
физико-химические процессы на границе раздела
металл-полупроводник, микроструктура контактной области и ее
влияние на электрические свойства и термическую стабильность
контактов. Ряд сведений о взаимодействии золота с
полупроводниковыми материалами получен в лабораториях Института
металлургии УрО РАН и Красноярского государственного
университета.
Материал представляет интерес для научных работников и
специалистов, работающих в области производства
полупроводниковых приборов, для преподавателей вузов при
подготовке курса лекций и студентов соответствующих
специальностей.